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科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)-Nano-36
  • 科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)-Nano-36

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更新時(shí)間:2025-04-21 08:57:41

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科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)-Nano-36
科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)Nano36擁有LOAD LOCK預(yù)真空進(jìn)樣室(可選)、前開門蒸發(fā)腔體、冷凝泵和干泵、多個(gè)熱阻蒸發(fā)源或OLED低溫蒸發(fā)源。

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在高真空下,電子槍燈絲加熱后發(fā)射熱電子,被加速陽(yáng)極加速,獲得很大的動(dòng)能轟擊到的蒸發(fā)材料上,把動(dòng)能轉(zhuǎn)化成熱使蒸發(fā)材料加熱氣化,而實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽(yáng)極的鍍膜材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中,使鍍膜材料局部達(dá)到高溫而蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率,特別是有利于高熔點(diǎn)以及高純金屬和化合物材料??稍诟哒婵障抡舭l(fā)不同厚度的各種金屬與氧化物薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料,電子等領(lǐng)域。

 

科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)-Nano-36

在高真空下,電子槍燈絲加熱后發(fā)射熱電子,被加速陽(yáng)極加速,獲得很大的動(dòng)能轟擊到的蒸發(fā)材料上,把動(dòng)能轉(zhuǎn)化成熱使蒸發(fā)材料加熱氣化,而實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽(yáng)極的鍍膜材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中,使鍍膜材料局部達(dá)到高溫而蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率,特別是有利于高熔點(diǎn)以及高純金屬和化合物材料??稍诟哒婵障抡舭l(fā)不同厚度的各種金屬與氧化物薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料以及電子等領(lǐng)域。

 

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