產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
簡(jiǎn)單介紹無(wú)塵高溫試驗(yàn)箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱,無(wú)塵干燥箱,百級(jí)無(wú)塵烤箱,100級(jí)潔凈烤箱,無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。Class 100 Clean Ovens無(wú)塵高溫試驗(yàn)箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱,無(wú)塵干燥箱,百級(jí)無(wú)塵烤箱,100級(jí)潔凈烤箱 的詳細(xì)介紹無(wú)塵高溫試驗(yàn)箱,,無(wú)塵烤箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱,無(wú)塵干燥箱,百級(jí)無(wú)塵烤箱,100級(jí)潔凈烤箱Class 100 Clean Ovens無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。一.用途:PVC無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。二.特點(diǎn):1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 1002.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。三.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):1.主要技術(shù)指標(biāo): 無(wú)塵等級(jí):Class 100; 溫度范圍: 60~ +300℃; 溫度均勻度:200℃±4℃; 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載) 溫控精度:±0.1℃; 工作尺寸:W800×D600×H1300 電源:380v , 50Hz,15KW 網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。M計(jì)裝可編程控制1模式20步驟,zui多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。 型號(hào) 溫度范圍內(nèi)容積其它參數(shù)內(nèi)尺寸(W×H×Dmm)外尺寸(W×H×Dmm)PVC-178(RT+60)~+200℃178L潔凈度:100級(jí)580×530×580770×1,280×1,025PVC-380(RT+60)~+200℃380L潔凈度:100級(jí)580×1130×580770×1,880×1,025PVC-678(RT+60)~+200℃678L潔凈度:100級(jí)800×1130×7501,030×1,880×1,025PVHC-178(RT+60)~+350℃178L潔凈度:100級(jí)580×530×580770×1,280×1,025PVHC-380(RT+60)~+350℃380L潔凈度:100級(jí)580×1,130×580770×1,880×1,025PVHC-678(RT+60)~+350℃678L潔凈度:100級(jí)800×1,130×7501030×1,880×1,210PVHC-347MS(RT+60)~+300℃347L潔凈度:100級(jí)580×1,130×530770×1,880×1,025PVHC-633MS(RT+60~+300℃633L潔凈度:100級(jí)800×1,130×7001,030×1,880×1,2102、箱體結(jié)構(gòu): 烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方; 箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵; 內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE; 中桶材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。3、溫控系統(tǒng): 采用韓國(guó)“三元”SAMWONTECH溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定,精確度±0.3%FS。; 訊號(hào)來(lái)源:采用PT100熱電阻±0.5%。 輸出被控制組件:SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。4、完善的安全保護(hù)措施:漏電斷路器、 控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示 逆向防止器、 門(mén)面安全開(kāi)關(guān)5、選購(gòu)設(shè)備(需另外收費(fèi)): 可程式溫控器 無(wú)紙記錄儀 三色指示燈 烘烤架注:無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。