光谱椭偏仪广泛用于薄膜分析和测量。

Holmarc的光谱椭圆仪结合了旋转分析仪椭偏仪技术来表征薄膜样品。它使用高速CCD阵列检测来收集整个光谱。它可以测量从纳米厚度到数十微米的薄膜，以及从透明到吸收材料的光学特性。它可以精确地测量光学常数，例如折射率，薄膜厚度和消光系数。

椭偏原理

 

椭偏法是用于薄膜分析的高度灵敏的技术。该原理依赖于从表面反射时光的偏振态的变化。

表征极化状态，对应于电磁波电场的方向；选择两个方向作为参考，p方向（平行）和s方向（垂直）。反射光具有在p方向和s方向上不同的相位变化。椭偏法测量这种极化状态；

p  =  rp / rs  =  tan Ψe iΔ

其中Ψ和Δ是振幅比和p的相移和S组分。由于椭圆偏振法正在测量两个值的比率，因此它非常准确且可重现。

特征
 

    无损非接触技术

    单层和多层样品的分析

    精确测量超薄膜

    测量，建模和自动操作软件

    对（Ψ，Δ）的统一测量灵敏度

此款产品不用于医疗，不用于临床使用，此产品仅用于科研使用。