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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
★高性能價(jià)格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★7A型的更新?lián)Q代型
★管狀分流，使用壽命長
D07-7K 氣體質(zhì)量流量控制器 用途:
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業(yè)。
D07-7K 氣體質(zhì)量流量控制器 氧氣流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào) D07-7K 產(chǎn)品類型 普通型 流量量程 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 產(chǎn)品精度 ±1％F.S. 重復(fù)精度 ±0.2% FS 線性 ±1％F.S. 響應(yīng)時(shí)間 ≤4sec 工作溫度范圍 (5~45)°C 耐壓 3MPa 密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene 輸入輸出信號(hào) (0~5)VDC 電源 ±15V 閥類型 常閉 溫度系數(shù) - 無 - 零點(diǎn)飄移指標(biāo) - 無 - 電氣連接 D sub 15 pins Female 工作壓差范圍 (0.1～0.5) MPa 漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 表面化學(xué)成分 - 無 - 表面粗糙度 - 無 - 抗電磁干擾 - 無 - 重量 1.1Kg