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D07-15-氣體質(zhì)量流量控制器
  • D07-15-氣體質(zhì)量流量控制器

貨物所在地:北京北京市

地: 北京

更新時間:2025-06-17 21:00:08

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D07-15氣體質(zhì)量流量控制器用途: 質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

D07-15氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介:

★高穩(wěn)流型
★小體積,低波動
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用P20金手指插頭

D07-15氣體質(zhì)量流量控制器用途:

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。


D07-15氣體質(zhì)量流量控制器
技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號

D07-15

產(chǎn)品類型

普通型

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm

產(chǎn)品精度

±1%F.S.

重復精度

±0.2% FS

線性

±0.5% F.S.

響應時間

≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

常閉

溫度系數(shù)

- 無 -

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

P20 Card Edge

工作壓差范圍

(0.1~0.3) MPa

漏率

1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)

標準接頭形式

雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,VCR1/4”,雙卡套1/4”

表面化學成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

- 無 -

重量

0.85Kg

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