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產(chǎn)品簡介
CS100數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品類型：高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
詳細(xì)介紹
CS100數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品類型：
高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS100數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS100數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號 |
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| 產(chǎn)品類型 | 高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾 |
| 流量量程 | 1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤1sec |
| 工作溫度范圍 | (0~50)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,金屬密封 Metal |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V,24V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度系數(shù) | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Span: ≤±0.1% F.S./℃ |
| 零點飄移指標(biāo) | - 無 - |
| 電氣連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
| 工作壓差范圍 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
| 表面化學(xué)成分 |
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| 表面粗糙度 | 25µinch |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 1.2Kg |