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產品簡介
D07-23F氣體質量流量控制器自動關閉功能。當流量≤2%F.S.時，自動關閉。
詳細介紹
D07-23F氣體質量流量控制器簡介：
★大流量型
★管狀分流，不易堵塞
★自動關閉功能。當流量≤2%F.S.時，自動關閉
D07-23F氣體質量流量控制器參數：
D07-23F氣體質量流量控制器參數：
| 產品型號 | D07-23F |
| 產品類型 | 快響應型 |
| 流量量程 | 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm |
| 產品精度 | ±1.5％F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應時間 | ≤3sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
| 電源 | 24V |
| 閥類型 | - 無 - |
| 溫度系數 | Span: ≤±0.2% F.S./℃,Zero: ≤±0.1% F.S./℃ |
| 零點飄移指標 | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | (0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm） |
| 漏率 | - 無 - |
| 標準接頭形式 | VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10,雙卡套3/8” |
| 表面化學成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 2.6Kg |