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D07-19FM气体质量流量计技术参数：
| 产品型号 | D07-19FM |
| 产品类型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 产品精度 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 响应时间 | ≤4sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 10MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
| 输入输出信号 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
| 电源 | 24V |
| 阀类型 | 无阀 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Male |
| 工作压差范围 | ＜0.02 MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套Φ12,双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10,双卡套3/8” |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 1Kg |
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