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真空度測(cè)量?jī)x的測(cè)試原理介紹

2020-11-11  閱讀(1741)

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真空度測(cè)量?jī)x,又叫真空開(kāi)關(guān)真空測(cè)試儀,采用磁控管放電法測(cè)量,真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩個(gè)觸頭在一定距離打開(kāi),施加電場(chǎng)脈沖高壓,將滅弧室置于螺線管線圈或新的電磁線圈置于滅弧室外面,并將大電流連接到線圈上,從而產(chǎn)生與滅弧室內(nèi)高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣,在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下,滅弧室內(nèi)的帶電離子螺旋運(yùn)動(dòng),與殘余氣體分子碰撞電離。產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體的密度(即真空度)近似成正比。對(duì)于不同類型的真空管(管型),在相同的接觸距離、相同的真空度、相同的電場(chǎng)和磁場(chǎng)條件下,離子電流的大小因其結(jié)構(gòu)的不同而不同。真空度與離子電流的對(duì)應(yīng)曲線可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)標(biāo)定。在測(cè)量離子電流時(shí),可以通過(guò)查詢離子電流-真空隙曲線來(lái)獲得管的真空度。

 

 

為了提高常規(guī)磁控管放電試驗(yàn)對(duì)滅弧室真空度的靈敏度,必須將滅弧室從斷路器上拆下,放入電磁管中。這樣一來(lái),滅弧室在重新裝回?cái)嗦菲鲿r(shí)需要調(diào)整機(jī)械參數(shù),工作量很大并需專業(yè)人員而使用新型磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室,這樣就不必拆卸滅弧室,采用單片機(jī)進(jìn)行同步控制和數(shù)據(jù)采集與處理,提高了滅弧室真空的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。

 

真空度測(cè)量?jī)x將滅弧室的兩個(gè)觸點(diǎn)拉開(kāi)一定距離,施加脈沖高壓,使電磁線圈在滅弧室外線圈周圍以大電流通過(guò),產(chǎn)生同步的脈沖磁場(chǎng)。滅弧室內(nèi)的高壓。在脈沖磁場(chǎng)的作用下,滅弧室內(nèi)的電子相互螺旋運(yùn)動(dòng)。殘余氣體分子碰撞電離產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體的密度(即真空度)近似成正比。在相同真空度下,不同真空管的離子電流大小不同。在測(cè)量離子電流時(shí),利用計(jì)算機(jī)自動(dòng)計(jì)算真空度,并顯示真空度值。

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