LS晶圆清洗APM-HE30AN0H中空轴伺服电机

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LS晶圆清洗APM-HE30AN0H中空轴伺服电机

一、Spinner  Motor中空轴电机的特点

1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm

2、超快的加速/减速时间；

3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至；

4、轴孔采用真空空心轴设计，轴端的设计，确保chunk运行平稳

LS晶圆清洗APM-HE30AN0H中空轴伺服电机

韩国LS Spinner马达，空心轴伺服电机应用于半导体晶圆电镀，涂胶、去胶、显影、清洗、固晶、蚀刻、晶圆键合、封测等设备中。部分型号如下：

1；中空轴伺服电机

100W  APM-HB01AAH       增量式编码器

200W  APM-HB02AAH       增量式编码器

400W  APM-HB04AAH       增量式编码器

900W  APM-HE09ACH        增量式编码器        

900W  APM-HE09ACH-TA   增量式编码器

1.5KW APM-HE15ACH        增量式编码器        

APM-HE15AN0H-ZC01       单圈20位编码器

3KW    APM-HE30ACH        增量式编码器      

APM-HE30AN0H-ZC01       单圈20位编码器

2;Spinner马达

250W  APM-HB03HBH-CD      

4寸 6寸 涂胶显影，清洗设备应用。

250W  APM-HB03HBH-CD1    

4寸 6寸 涂胶显影，清洗设备应用。

250W  APM-HB03HBH-GY

4寸 6寸 涂胶显影，清洗设备应用。

250W  APM-HB03HBH-SH01

4寸 6寸 涂胶显影，清洗设备应用。

600W  APM-HC06HBH

6寸 8寸 涂胶显影，清洗设备应用。      

650W  APM-HC06ACH-ZC03  

8寸 12寸 涂胶显影，清洗设备应用。

750W  APM-HC07ACH-WN01

8寸 12寸 涂胶显影，清洗设备应用。

750W  APM-HC07HCH-100     8寸 12寸 涂胶显影，清洗设备应用。

1.1KW APM-HE11DCH      防腐蚀，8寸 12寸 涂胶显影，清洗设备应用。

LS晶圆清洗APM-HE30AN0H中空轴伺服电机