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合肥辰越自动化工程有限公司

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半导体晶圆清洗涂胶显影设备漏液检测器

时间：2024/7/25阅读：136
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中国台湾阳明光電式漏液檢測器

※ 高穩定性

※ 高抗干擾力

※ 微量漏液檢出

※ 小型堅固外形

※ 耐腐蝕外殼材質

需要快速检测出有无渗液，漏液，应用场合，及时发现设备故障，避免更大损失。

广泛用于半导体湿法工艺设备，单片晶圆清洗，槽式清洗，涂胶显影，CMP研磨设备等。

漏液传感器1.png



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