LS特种电机在半导体行业应用
随着国内的半导体行业的发展，制程设备关键零部件，韩国LS特研制出的Spinner 空心轴高速伺服电机，有着20多年行业应用。服务于半导体晶圆电镀，涂胶、显影、清洗、固晶、蚀刻、晶圆键合、封测等设备中，该电机具备高加速度，速度范围宽，高响应性等特点，在业内广受客户好评。
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