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合肥辰越自动化工程有限公司

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韩国LS伺服驱动器报警代码

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应用范围:

  1, 半导体制造工业
  2, 设备应用
   A. 曝光显影设备 (涂胶,显影)    光刻加工程序的主要设备及掌控涂层,曝光,显影。
   B. 清洗、蚀刻设备                 用于蚀刻,清洗,去膜设备。

   C. 清洗设备         适用于 物理冲洗清洁、颗粒清洗刷子、声控及喷雾工艺。




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