Heimann Sensor真空传感器HVS 系列
产品型号：HVS vac04 关键字：Heimann Sensor真空传感器HVS系列 关键字描述：HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。 产品介绍：HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。硅批处理技术可实现小型化和低成本大批量生产。特殊要求可以从1E-5mbar到1E-2mbar的标准测量范围扩展到1E-1mbar。Heimann真空传感器HVS是微型皮拉尼（Pirani）型传感器，基于薄微机械膜上的加热电阻器结构，传感器采用小巧耐用的TO型金属外壳。 参数： 参数 HVS Vac03g HVS Vac03k HVS Vac04 单位 外壳 TO8 TO39 TO39（单个） TO8（双） 芯片尺寸 5.2x5.2 4.0x4.0 1.2x1.2 mm2 传感器电阻RP（典型值） 8.5 8.5 1 kOhm 片上参考电阻RK（典型值） 8.5 8.5 1 kOhm 电源电压U0 (max.) 3.5 3.2 4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar） volt 工作温度 -20..120 °C 储存温度 -40..120 °C
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