詳細(xì)介紹
ZDF-1A/ZDF-1B數(shù)顯式復(fù)合真空計
儀器名稱:數(shù)顯式復(fù)合真空計
ZDF-1A型(測控范圍100000-10-6Pa)
ZDF-1B型(測控范圍100000-10-4Pa)
控制輸出: 全量程上下限可調(diào)四路繼電器(選件)
數(shù)據(jù)輸出: RS485(配通訊光盤)(選件)
全量程0-5V(或4-20mA)對數(shù)線性輸出(選件)
規(guī)管切換: 1-99分鐘可調(diào)延遲
規(guī)管除氣: 99秒自動
測量模式: 手動優(yōu)先/自動優(yōu)先
配用規(guī)管: 電阻規(guī)(皮拉尼規(guī))、電離規(guī)二路測量
可擴充性: 可增加一路熱偶規(guī)測量( 選件)
面板尺寸: 320寬×99高×200深
一、特點及用途:
本儀器是內(nèi)含微處理器的傻瓜型高性能儀器,是專為1.0E5Pa到1.0E-6Pa(ZDF-1A型)或1.0E5Pa到1.0E-4Pa (ZDF-1B型)范圍真空自動測量控制而設(shè)計的,有電阻規(guī)、電離規(guī)、熱偶規(guī)三個測量通道(其中熱偶規(guī)測量通道根據(jù)用戶選購時定制)。有鎖定自動、手選自動、手動三種操作模式;從低真空電阻規(guī)測量*轉(zhuǎn)到高真空電離規(guī)測量有0-99分鐘可設(shè)延遲;機內(nèi)參數(shù)有SOFTLOCK密碼鎖保護;16位高速AD轉(zhuǎn)換電路;微處理器自動修正電路參數(shù)不*性給測量帶來的誤差。儀器具有可靠的抗沖擊線路自保護功能,可廣泛用于真空鍍膜、電子束焊、熱處理、冶金、化工、半導(dǎo)體、激光及電工行業(yè)。
二、技術(shù)條件:
1、 測量及控制范圍:1.0E5Pa到1.0E-6Pa (ZDF-1A型)
1.0E5Pa到1.0E-4Pa (ZDF-1B型)
2、 配用規(guī)管:電阻規(guī)、電離規(guī)(根據(jù)用戶要求可增加一路熱偶規(guī))
通道2:ZJ-52(或ZJ-52K)金屬電阻規(guī)(測1.0E5Pa到0.1Pa)
通道3:ZJ-27抗氧化玻璃電離規(guī)(測5Pa到1.0E-6Pa) (ZDF-1A型)
ZJ-10抗氧化中真空電離規(guī)(測26Pa到1.0E-4Pa) (ZDF-1B型)
通道1:ZJ-54D(或ZJ-54DK)金屬熱偶規(guī)(測量300Pa到0.1Pa)(用戶選購件)
5、發(fā)射電流: 50μA允差3%(5.0Pa到1.0E-1Pa)
5mA允差3%(9.9E-2Pa到1.0E-6Pa) (ZDF
50μA允差3%(26Pa到1.0E-2Pa)
500μA允差3%(9.9E-3Pa到1.0E-4Pa) (ZDF-1B型)
陽極電壓:225V允差3%(ZDF
165V允差3%(ZDF-1B型)
陰極電壓:25V允差5%(ZDF
50V允差5%(ZDF-1B型)
測量精度:讀數(shù)值±20%(1E5-1E3范圍為讀數(shù)值±50%)
6、輸出控制繼電器4路,每路均全量程可調(diào)、每路均有上下限設(shè)定,可用于區(qū)域控制和點位控制(用戶選購件)。
7、RS485串行輸出(用戶選購件)。
8、0-5V全量程線性電壓輸出(用戶選購件)。
7、電阻規(guī)和電離規(guī)測量可自動轉(zhuǎn)換,有鎖定自動、手選自動、手動三種模式。
8、電阻規(guī)*轉(zhuǎn)到電離規(guī)測量時可設(shè)定延時,延時可設(shè)范圍0-99分鐘。
9、功能設(shè)定有SOFTLOCK密碼鎖保護(本機密碼15)。
9、顯示單位:Pa;
10、顯示方式:*.*E**Pa冪次方科學(xué)計數(shù)法(舉例:3.2E-2Pa=0.032Pa;4.5E3Pa=4500Pa)
11、外型尺寸:99×320×
三、使用方法(可電詢021-62315744、62317134、):
1、熟悉儀器:用戶將儀器不接規(guī)管通電,先行操作按鍵熟悉操作方法。儀表按鍵采用“所按即所得”方式操作。大數(shù)碼管顯示測量值,小數(shù)碼管顯示測量通道: 按“電阻
2、安裝規(guī)管:將規(guī)管用真空連接的方法接入真空系統(tǒng)(玻璃電離規(guī)必須先切割開口),并將規(guī)管用規(guī)管線同儀表相連。建議電阻規(guī)和電離規(guī)并接入主真空腔,熱偶規(guī)(用戶選購的話)接入前級真空管路。
3、使用前的調(diào)整:
A、手動模式時(即開啟電源后“Auto(自動)”燈滅的狀態(tài)):
當(dāng)系統(tǒng)中確認(rèn)為未抽真空處于大氣壓時,按“電阻2”鍵,用螺絲刀調(diào)面板上2孔電阻規(guī)滿度電位器,使2通道電阻規(guī)顯示為9.9E4Pa;當(dāng)連好熱偶規(guī)(新規(guī)管)的情況下(此為用戶選購件),按“熱偶1”鍵二次,使顯示0通道熱偶規(guī)電流,用螺絲刀調(diào)面板上1孔熱偶規(guī)電流電位器,使顯示為30.0mA;電離規(guī)參數(shù)不用調(diào)節(jié)。
B、鎖定自動模式時(即開啟電源后“Auto(自動)”燈亮的狀態(tài)):
按下節(jié)儀表的設(shè)置方式先改為手動模式再照上條A項手動模式調(diào)整。
4、真空測量(可電詢021-62315744、62317134、):
(1) 開啟用戶真空抽氣機組即可測量真空,用戶可先用手動模式進行設(shè)備調(diào)試。1.0E5Pa到1.0Pa 時“按電阻
(2)自動狀態(tài)(即“Auto(自動)”燈亮的狀態(tài)):儀表自動首先用電阻規(guī)(小數(shù)碼管顯2)測量1.0E5Pa到4.0Pa,當(dāng)所測系統(tǒng)內(nèi)壓力低于4.0E0Pa時自動轉(zhuǎn)為電離規(guī)(小數(shù)碼管顯3)測量。自動狀態(tài)時按“電阻2”和“電離3”鍵儀表將不予理睬。用戶須注意區(qū)分鎖定自動(鍵已鎖定)或手選自動(按“自動”鍵即可亮或滅“自動”燈,鍵不鎖定)的差別,鎖定自動(鍵已鎖定)時,電阻規(guī)*測到轉(zhuǎn)換真空值時將再等待一段用戶設(shè)定的延時時間(時間長短據(jù)用戶功能設(shè)定“de”中設(shè)定而定,若設(shè)為0則無延遲功能)再轉(zhuǎn)到電離規(guī)測量,而手選自動中的自動無延遲。
(3)手選自動模式中自動或手動測量狀態(tài)的選擇:按“自動”鍵“Auto”燈亮,進入自動狀態(tài),此時儀表測量自動轉(zhuǎn)換;再按“自動”鍵“Auto”燈滅進入手動控制狀態(tài),此時儀表測量由用戶根據(jù)量程手動選擇電阻規(guī)或電離規(guī)。
真空系統(tǒng)放氣時請先切換到電阻規(guī)測量或直接關(guān)閉儀表電源以保護電離規(guī)(若儀表處于鎖定自動狀態(tài)時,可將用戶自動控制設(shè)備上控制放氣繼電器的一付觸點串入本真空計的220V供電電源回路中,放氣時該繼電器的觸點自動切斷真空計電源;放氣完畢真空泵再啟動時,該繼電器觸點吸合,真空計又恢復(fù)工作。
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