含硅光刻胶
为了避免光刻胶线条的倒塌，线宽越小的光刻工艺，要求光刻胶的厚度越薄。
在20nm节点，光刻胶的厚度已经减少到了100nm左右。但是薄光刻胶不能的阻挡等离子体对衬底的刻蚀 。为此，了含Si的光刻胶，这种含Si光刻胶被旋涂在一层较厚的聚合物材料（常被称作Underlayer），其对光是不敏感的。曝光显影后，利用氧等离子体刻蚀，把光刻胶上的图形转移到Underlayer上，在氧等离子体刻蚀条件下，含Si的光刻胶刻蚀速率远小于Underlayer，具有较高的刻蚀选择性 。
含有Si的光刻胶是使用分子结构中有Si的有机材料合成的，例如硅氧烷，硅烷，含Si的丙烯酸树脂等 。
光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括：光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂）、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩（掩模版）转移到待加工基片上。依据使用场景，这里的待加工基片可以是集成电路材料，显示面板材料或者印刷电路板。
光刻胶按应用领域分类，可分为 PCB 光刻胶、显示面板光刻胶、半导体光刻胶及其他光刻胶。
市场上不同种类光刻胶的市场结构较为均衡，具体占比可以如下图所示。
目前，本土光刻胶以PCB用光刻胶为主，平板显示、半导体用光刻胶供应量占比。本土光刻胶企业生产结构可以如图所示。
齐岳生物供应产品：
| 产品 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度（um) | 适用范围 |
| 厚胶 Thick Resist | SU-8 GM10xx系列 | g/h/i-Line | 负性 | 0.1um | 0.1-200 | 具有较大的高宽比，透明度高，垂直度。 |
| SU-8 Microchem | g/h/i-Line | 负性 | 0.5um | 0.5-650 | 具有较大的高宽比，透明度高，垂直度。 | |
| g/h/i-Line | 正性 | 1um | 1—30 | 可用于选择性电镀电镀，深硅刻蚀等工艺。 | ||
| NR26-25000P | g/h/i-Line | 负性 | 20-130 | 厚度大，相对容易去胶。 | ||
| 电子束光刻胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度（um) | 适用范围 |
| SU-8 GM1010 | 电子束 | 负性 | 100nm | 0.1-0.2 | 可用于做高宽比较大的纳米结构。 | |
| HSQ | 电子束 | 负性 | 6nm | 30nm~180nm | 分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀。 | |
| XR-1541-002/004/006 | ||||||
| HSQ Fox-15/16 | 电子束 | 负性 | 100nm | 350nm~810nm | 分辨率较好的光刻胶，抗刻蚀。 | |
| PMMA(国产) | 电子束 | 正性 | \ | \ | 高分辨率，适用于电子束光刻工艺，较常用的电子束光刻正胶。 | |
| PMMA（） | 电子束 | 正性 | \ | \ | MicroChem，分子量，适用于电子束光刻工艺，较常用的电子束光刻正胶。 | |
| 薄胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度（um) | 适用范围 |
| S18xx系列 | g-Line | 正性 | 0.5um | 0.4-3.5 | 较常用的薄光刻胶，分辨率高，稳定。 | |
| SPR955系列 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.7-1.6 | 高分辨率（0.35um）光刻胶，稳定。 | |
| BCI-3511 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.5-2 | 国产0.35um光刻胶，已经在量产单位规模使用。 | |
| NRD6015 | 248nm | 负性 | 0.2um | 0.7-1.3 | 国产深紫外光刻胶，已经在量产单位规模使用。 | |
| Lift off光刻胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度（μm) | 适用范围 |
| KXN5735-LO | g/h/i-Line | 负性 | 4μm | 2.2-5.2 | 负性光刻胶;倒角65-80°，使用普通正胶显影液显影。 | |
| LOL2000/3000 | g/h/i-Line | / | NA | 130nm-300nm | 非感光性树脂，可以被显影液溶解，作为lift off双层胶工艺中底层胶使用。 | |
| ROL-7133 | g/h/i-Line | / | 4um | 2.8-4 | 负性光刻胶，倒角75~80°，使用普通正胶显影液。 | |
| 光刻胶配套试剂 | 品名 | 主要成分 | 包装 | 应用 | / | / |
| 正胶显影液 | TMAH 2.38% | 4LR/PC | 正胶显影液 | / | / | |
| 正胶稀释剂 | PGMEA | 4LR/PC | 稀释剂 | / | / | |
| SU8 显影液 | PGMEA | 4L/PC | 显影SU8光刻胶 | / | / | |
| RD-HMDS | HMDS | 500ml/PC | 增粘剂 | / | / | |
| OMNICOAT | 见MSDS | 500ml/PC | SU-8增粘剂 | / | / |
| 1-丙烯酸金刚烷酯 | 121601-93-2 |
| 1-金刚烷基甲基丙烯酸酯 | 16887-36-8 |
| 丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 | 7398-56-3 |
| 4-乙酰氧基苯乙烯 | 2628-16-2 |
| 1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯 | 216581-76-9 |
| 2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 | 249562-06-9 |
| 2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯 | 303186-14-3 |
| 1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯 | 81665-82-9 |
| 2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 | 254900-07-7 |
| 甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ | 34759-34-7 |
| 2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯 | 297156-50-4 |
| 2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 | 251564-67-7 |
| gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯 | 130224-95-2 |
| N-异丙基甲基丙烯酰胺 | 13749-61-6 |
| (9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯 | 583036-99-1 |
| (5-氧代四氢-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 | 156938-09-9 |
| 1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 | 266308-58-1 |
| 1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 | 811440-77-4 |
| 2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯 | 31480-93-0 |
| n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate | 170216-64-5 |
| 2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 | 4224-69-5 |
| 甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 | 31645-35-9 |
| 2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ | 347886-81-1 |
| 2-乙烯基萘 | 827-54-3 |
| 2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 | 186585-56-8 |
| 2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯 | 195000-66-9 |
| 丙烯酸甲基环戊酯 | 178889-49-1 |
| 丙烯酸1-乙基环戊酯 | 326925-69-3 |
| 2-氧代四氢-呋喃-3-基丙烯酸酯 | 328249-37-2 |
| 4-叔丁氧基苯乙烯 | 95418-58-9 |
| 4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 | 69260-42-0 |
| 甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 | 13695-31-3 |
| 3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene | 16215-47-7 |
| acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol | 57142-64-0 |
| 1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 | 157057-20-0 |
| 1-甲基环己基甲基丙烯酸酯 | 76392-14-8 |
| 2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 | 1176273-16-7 |
| 2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯) | 131787-39-8 |
| 1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯 | 178889-45-7 |
| 1-乙基环己基甲基丙烯酸酯 | 274248-09-8 |
| 4-异丙基苯酚 | 4286-23-1 |
| (2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate | 13818-44-5 |
| 乙酸-2-乙烯基苯基酯 | 63600-35-1 |
| 2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 | 325991-26-2 |
| 1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate | 51920-52-6 |
| 甲基丙烯酸四氢-呋喃-2-基酯 | 15895-80-4 |
| oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate | 52858-59-0 |
| 6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one | 1267624-16-7 |
| 3-叔丁氧基苯乙烯 | 105612-79-1 |
| 2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 | 13732-00-8 |
| 2,3-二羟基丙烯酸丙酯 | 10095-20-2 |
| 2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷 | 2653-39-6 |
| 3,5-二乙酰氧基苯乙烯 | 155222-48-3 |
| 2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷 | 123455-94-7 |
| 二苯基碘酰氯 | 1483-72-3 |
| 双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓与三氟甲磺酸的盐 | 84563-54-2 |
| 全氟丁基磺酸三苯基锍盐 | 144317-44-2 |
| 双(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 | 5421-53-4 |
| TBPDPS-PFBS | 258872-05-8 |
| 1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐 | 194999-85-4 |
| (4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 | 111281-12-0 |
| N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 | 85342-62-7 |
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