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上海屹持光电技术有限公司专业提供各种微纳结构加工服务
典型案例：
FIB加工微纳结构 紫外光刻微纳结构
单晶硅反应离子刻蚀图片
ICP 刻蚀微纳结构
纳米压印点线图
微流控细胞打印
EBL 刻写微纳阵列
FIB 用于器件电极沉积
激光直写图案
激光直写器件
微纳结构加工主要设备
1，电子束曝光系统；
2，聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统；
3，双面对准接触式紫外光刻机；
4， 单面对准紫外光刻机；
5，金属高密度等离子体刻蚀机；
6，硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机；
7，反应等离子体刻蚀机；
8，纳米压印机。
上海屹持光电技术有限公司
地址：上海市闵行区元江路3599号?？怂勾葱略?号楼302
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