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薄膜測(cè)量?jī)x薄膜測(cè)試儀 Filmetrics膜厚儀
閱讀：3673 發(fā)布時(shí)間：2016-8-26| 提 供 商 | 優(yōu)尼康科技有限公司 | 資料大小 | 665.5KB |
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薄膜測(cè)量?jī)x薄膜測(cè)試儀 Filmetrics F60-t
Filmetrics F60-t 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x
Filmetrics 膜厚測(cè)量?jī)x優(yōu)勢(shì)
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自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)
依靠 F60 的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得薄膜的厚度分布圖。 采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖?，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶(hù)可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。 在約 45 秒的時(shí)間就可以?huà)呙柰?/span>標(biāo)準(zhǔn) 49 點(diǎn)分布圖
可測(cè)樣品膜層
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)量。例如：
氧化硅 氮化硅 類(lèi)金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅 硅
相關(guān)應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
光刻膠 氧化物 氮化物
光學(xué)鍍膜
硬涂層 抗反射涂層 濾光片
液晶顯示器
盒厚 聚酰亞胺 ITO
生物醫(yī)學(xué)
聚對(duì)二甲苯 生物膜 硝化纖維
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