有氧退火炉

案例：蓝宝石有氧退火炉

蓝宝石 (Sapphire) 是一种氧化铝 ( α- Al₂O₃) 的单晶，又称为刚玉。 蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，强度高、硬度大、耐冲刷，可在接近 2000 ℃ 高温的恶劣条件下工作，因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其*的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体 GaN/Al₂O₃ 发光二极管 (LED) ，大规模集成电路 SOI 和 SOS 及超导纳米结构薄膜等理想的衬底材料。

在蓝宝石衬底的切割、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中，尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放，但是这种应力释放是无序释放，同时未释放的加工应力会在晶片表面集聚，影响蓝宝石晶片的翘曲程度，严重的翘曲会在后道加工过程产生破片，影响整个加工循环的晶片质量。 蓝宝石衬底在加工过程中，必须经过退火处理以降低加工应力。

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蓝宝石晶棒退火（有氧退火）

• 去应力：使蓝宝石便于加工，切屑。
• 消除应力集中，避免晶体自动开裂，以及加工中产生裂纹、爆口等。
• 退火温度以达到其熔点附近为佳，升温速率不宜过快，直径越大，保温时间应越长；降温时间应大于升温时间，避免再次产生应力。                                                             

去色心：使蓝宝石更透明，透光更好。

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