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SN内槽测量仪
用 于测量沟槽、凹槽的宽度；带有测头收回装置，但收回后，测头减少的幅度小于ST系列。但相对ST系列，SN可测量小沟槽的直径。应用范围为60~300mm。 如果被测沟槽的精度只需要达到0.01，建议使用经济型的ON/ONM系列
| 测量范围 | 重复精度 | zui大误差 |
| 60-300 | ≤1.0μm | ≤2.0μm |
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