化工仪器网
详细介绍
Sanyu SC-701MKll 离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上小型镀膜系统，特别适用于电极镀膜，也可用于扫描电镜成像中非导电样品制样镀膜。
SC-701MKll 离子溅射仪是系列体型最小的紧凑型离子溅射仪，操作简单，易于使用。标配间歇溅射功能，可有效减少离子损伤。手动式操作，大样品仓设计，同时采用前门开闭式设计，靶材直径49毫米，标配金靶。
技术参数
SC-701MKll 离子溅射仪 | |
样品室 | 直径90x 90mm 高，SUS材质 |
靶材 | 标配Au，Pt/Pt-Pd/Au-Pd/Pd/Ag可选，φ49mm |
样品台 | 直径：50mm |
溅射方式 | DC直流溅射 |
溅射时间 | 0~15分钟，最长30分钟（在连续模式下） |
溅射真空 | 5~30Pa |
高压/电流 | 1.2kV/9.9mA |
进气控制 | 针阀控制 |
抽气速率 | 20L/MIN |
化工仪器网