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在等離子體的作用下，材料表面的一些化學(xué)鍵發(fā)生斷裂，形成小分子產(chǎn)物或被氧化成CO、CO：等，這些產(chǎn)物被抽氣過程抽走，使材料表面變得凹凸不平，粗糙度增加。

    1、 表面刻蝕

在等離子體的作用下，材料表面的一些化學(xué)鍵發(fā)生斷裂，形成小分子產(chǎn)物或被氧化成CO、CO：等，這些產(chǎn)物被抽氣過程抽走，使材料表面變得凹凸不平，粗糙度增加。

    2、表面活化

在等離子體作用下，難粘塑料表面出現(xiàn)部分活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團(tuán)與等離子體中的活性粒子接觸會反應(yīng)生成新的活性基團(tuán)。但是，帶有活性基團(tuán)的材料會受到氧的作用或分子鏈段運(yùn)動的影響，使表面活性基團(tuán)消失，因此經(jīng)等離子體處理的材料表面活性具有一定的時效性。

    3、表面接枝

在等離子體對材料表面改性中，由于等離子體中活性粒子對表面分子的作用，使表面分子鏈斷裂產(chǎn)生新的自由基、雙鍵等活性基團(tuán)，隨之發(fā)生表面交聯(lián)、接枝等反應(yīng)。

    4、表面聚合

在使用等離子體活性氣體時，會在材料表面聚合產(chǎn)生一層沉積層，沉積層的存在有利于提高材料表面的粘接能力。在低溫等離子體對難粘塑料進(jìn)行處理時，以上四種作用形式會同時出現(xiàn)。因此，可以根據(jù)低溫等離子體所使用的氣體，將其分為反應(yīng)型低溫等離子體和非反應(yīng)型低溫等離子。

低溫等離子體表面改性材料目前已廣泛應(yīng)用于電子、機(jī)械、紡織、航天、印刷、環(huán)保和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。