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HORIBA真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV介紹
閱讀：969 發(fā)布時(shí)間：2021-12-29
HORIBA真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV概述
專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無(wú)氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性；獨(dú)YI無(wú)二的超快測(cè)量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?/p>
重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有機(jī)材料、高分子材料
高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂層
半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷
MgF2、CaF2、LaF3
HORIBA真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV特點(diǎn)
★ 50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)
★ 45 秒內(nèi)完成充氮?dú)?/p>
★ 2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空
★ 8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測(cè)量
★ 兩種工作模式：氮?dú)馇逑唇Y(jié)合抽
★ 真空、連續(xù)氮?dú)馇逑?/p>
★ 光譜范圍：147nm~850nm；147nm~2100nm