近场扫描光学显微镜原理：

使用由熔拉或腐蚀光纤波导所制成之探针，在外表镀上金属薄膜已形成末端具有15nm至100nm直径尺寸之光学孔径(optical aperture) 的近场光学探针，再以可作精密位移与扫描探测之压电陶瓷材料(piezo-electrcal ceramics) 配合原子力显微技术(atomic force microscopy, AFM) 所提供的高度回馈控制，将近场光学探针非常地(垂直与水平于样品表面的方向之空间解析度可分别达到约0.1nm 与1nm) 控制在被测样品表面上1nm 至100nm 的高度，进行三维空间可回馈控制的近场扫描(scanning)，而具有奈米光学孔径之光纤探针即可做接收或发射光学讯息之用，由此获得一真实空间之三维近场光学影像，因其与样品表面距离远小于一般光波波长，测得的信息皆属近场光学作用的信息，无平常常见的远场光学中绕射极限的光学解析度限制。

偏光显微镜 近场光学显微镜的应用：

近场光学显微镜(倒置金相显微镜)突破传统光学绕射限制，可直接利用光来观察奈米材料，分析奈米元件显微结构及缺陷，近年来已应用在分析半导体雷射元件上。因其具有高解析度，可应用于高密度资料存取，目前已运用此一技术成功制作出超过100 GB 之超解析近场光碟片。此外还可应用于生物分子及蛋白质荧光光近场显微分析。

近场扫描光学显微镜的原理与构造：

一般光学显微镜于远场观测时，因受到光波的绕射限制，其解析度仅有数百纳米左右。但若在近场观测时，可避免绕射及干涉的产生，能克服绕射限制，将解析度提升至数十纳米左右。

近场扫描光学显微镜的结构中，以末端背有数十纳米口径的锥状光纤为探针。将探针和被测物的距离控制在近场观测范围内，利用可精密定位与扫描探测的压电陶瓷，并配合原子力显微镜所提供的高度回馈控制系统，进行三维空间近场扫描。再由光纤探针接收或发射光学讯号，以获得三维近场光学影像。