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產品簡介
白光干涉形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產品的組合可根據不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
詳細介紹
白光干涉形貌儀
項 目 簡 述 | 參數說明 |
白光干涉形貌儀 | Z向高分辨率, 亞納米級 兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨立放大 四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光，綠光，藍光和紅光) 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機 快速處理器在業(yè)界位于水平 自動對焦
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