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美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD
产品简介：
●SVT SMART（Scientific Materials and Applied Research Tool）脉冲激光沉积系统具有*的*性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术（如RF源）集成于一台设备上?？梢陨じ髦挚赡艿牟牧稀?br />● 配有6个旋转靶台，实现多层薄膜结构生长。
● 可与准分子激光和Yag激光相连。
● 在线
产品简介
详细介绍
应用
● 多元素复合氧化物
● 高温超导材料
● 磁性材料、金属材料
● 低蒸汽压材料
● MEMS
基本系统
腔室及真空泵
12’’ 快速门，250l/s 分子泵，全量程规
沉积源
靶台，6X1’’(25mm) 靶，可以水平旋转，
可Z方向移动
样品台
1’’(25mm)大小，可加热至800oC（1000oC可?。伤叫?，可Z方向移动
在线工艺监控
石英晶振沉积速率监控仪
自动化
自动化装置：
控制样品温度和旋转
靶台的位置控制
靶台旋转
气体控制
速率及厚度计算（利用QCM输出）
激光束扫描（可?。?/span>
激光束屏蔽控制
自动泵抽和充气
差分泵抽结构
RHEED分析（可?。?/span>
装载室压强监控（可?。?/span>
主要特点
RF射频等离子源(氧,氮)
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE （L-MBE）系统
自动软件控制
提供更洁净的薄膜生长环境,*的温度控制解决方案.