在波长色散式光谱仪中，X 射线光管用作直接照射样品的光源，并且使用波长色散式检测系统来测量样品发出的荧光。分光晶体根据波长（而不是能量）来分离 X 射线，可用于识别每种不同元素发出的特征辐射。此类分析可以通过逐一（依次）测量不同波长的 X 射线强度来完成，或者在固定位置同时测量所有不同波长的 X 射线强度。?

而在能量色散式光谱仪中，X 射线光管用作直接照射样品的光源，并且使用能量色散式探测器来测量样品发出的荧光。此探测器可以测量样品直接发出的特征辐射的不同能量。该探测器可以将样品发出的辐射与样品中存在的不同元素所发出的辐射分离开来。 这种分离就称为分散。
EDXRF 光谱测定的优势：

小巧紧凑的仪器设计

几乎不需要维护

无需使用水、压缩空气或气体

耗电量低

更高的系统分辨率

可同时执行元素分析