XRF 是一种可靠的技术，结合了高精度和准确性以及简便、快速的样品制备等优点。 它可以在要求实现高处理量的工业环境下自动完成使用准备，并且提供定性和定量的样品相关信息。 这种定性和定量信息的轻松组合还使快速筛选（半定量）分析成为可能。
 

XRF 是一种原子发射方法，类似于光发射光谱 (OES)、ICP 和中子活化分析（伽马光谱）。 此类方法可以测量由样品中的带电原子发出的“光线”（此情况下为 X 射线）的波长和强度。 在 XRF 中，来自 X 射线光管主 X 射线光束的辐照会使荧光 X 射线的辐射呈现出样品中所存在元素的分散能量特征。 
 

用于样品 X 射线荧光光谱分离（分散）、识别和强度测量的技术催生了两种主要类型的光谱仪：波长色散式 (WDXRF) 和能量色散式 (EDXRF) 系统。