ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列产品特色

●  多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSERTM气体编辑器确定自己的气体组成。

●  连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

●  耐用。21Q系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让介质暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。

精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度         ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）

测量和控制范围             0.1 ~ 100%满量程

重复性                          ± 0.1%满量程

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考气体兼容表

                   一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程     从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

量程可控比（稳态）    0.5% ~ 100%满量程

最大显示流量    高达128%满量程（取决于气体）

最大可控流量    102.4%满量程

显  示  屏    带背光按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力和温度

精       度    ± 2%满量程    精度升级见左下角

重  复 性    ± 0.2%满量程

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始） 

                                 ± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）

质量流量量程漂移    ± 0.01%读 数/ ℃（从25℃开始） 

                                 ± 0.1 %读 数/ Atm（从校准压力开始）

控制响应时间（T63）    优于100 ms（与流量相关，用户可调）

显示响应时间    ＜10 ms（与流量相关）             

预热时间    ＜1s

默认标况（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ~ 95%

最大工作压力    320 PSI 绝压

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40Hz@19200波特率；模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、                                 

                   EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压     12 - 24 VDC 

供电电流    0.250 -1A（+40 mA，对于4-20 mA输出）

电气接口    DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN、8-pin M12等

泄漏率（外漏）    选择HLCP选项，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He 

材       质    302，303，304,316L，430,410不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、

                   硅橡胶、聚酰胺、环氧树脂、金、铜、硅、玻璃。

过程连接    详情参考压损表

安装位置    小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装

防护等级    IP40

认    证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可?。?/span>

选项配件

（需另行订购）

●  过程端口接头和过滤器

●  电源

●  通讯线缆和转换线缆

●  BB3和BB9多点式集线盒

●  Flow Vision软件

包装清单

●  MCQ系列高压气体质量流量控制器（电源需另行订购）

●  NIST可溯源校准证书

●  艾里卡特操作说明书