| 产地类别 |
国产 |
产品种类 |
其他 |
| 价格区间 |
面议 |
介质分类 |
气体 |
| 应用领域 |
综合 |
流量规格（氮气） |
30SLM-100SLM |
热式气体质量流量控制器/流量计主要应用在量程范围从5sccm—1500slm之间气体流量的测量和控制，采用新型传感制作工艺，具有本体显示、数模一体，随意切换、多种通讯、响应速度快、准确度高、流量控制稳定、压力范围宽、线性度好等优点，适用于绝大多数干燥、干净的气体（及少数腐蚀性气体）。
应用行业：真空镀膜设备、石油化工、航空航天、医药制造业、火电、核电、天然气加气站、太阳能、 液晶面板制造半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备等行业的公司
☆ 气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）、SLM（标准升每分钟）
标准状况：温度--293.15K(20℃)
压力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示满量程
》流量计特征
--全数字构架 --更快的响应速度
--宽压力范围 --出色的线性度
--新型传感制作工艺
流量规格（氮气） | 0-10sccm/10sccm-50slm |
控制量程 | 2%-100% |
精度 | ≤±1.0%F.S |
线性 | ≤±0.5%F.S |
重复性 | ≤±0.2%F.S |
阀门类型 | 常闭阀 |
响应时间 | 1-3sec |
最大耐压 | 0-50Bar |
通信信号 | 0-5V/4-20mA/Rs485 |
供电方式 | 14VDC--27VDC (300mA) |
泄漏率 | 1×10-9atm. cc/sec He |
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