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鎢燈絲掃描電鏡的原理和優(yōu)缺點

閱讀:2154        發(fā)布時間:2022-11-4
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大,抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好,低真空下可以對不導(dǎo)電樣品無荷電成像,可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析,在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
 
工作原理:
 
通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),在陽極作用下,處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制,電子束在樣品表面逐點掃描,激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號,經(jīng)探測器收集、放大器放大后,調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。
 
與其他陰極相比,鎢陰極電子槍的優(yōu)點有:
 
1.對真空度的要求不是很高,它可以在相對較低的真空度(<10Pa)下工作,電子光學(xué)和真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)都較簡單,整體造價較低。
 
2.總發(fā)射電流和束斑都比較大,且相對穩(wěn)定,其抗震和抗干擾能力較強,特別適合作電鏡的電子源。
 
3.結(jié)構(gòu)簡單,加工容易,維持費用較低,維護和保養(yǎng)也較簡單、易行。
 
與其他陰極相比,鎢燈絲的不足之處是:
 
1.總發(fā)射束流雖大,但束流密度小,發(fā)射效率低,信噪比較差,比較難滿足拍攝超高分辨圖像的需要。
 
2.化學(xué)穩(wěn)定性也較差,容易與空氣中的水分發(fā)生作用,產(chǎn)生所謂的“水循環(huán)”,而壽命短。

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