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鎢燈絲掃描電鏡使用的一些注意事項(xiàng)

閱讀:1620        發(fā)布時(shí)間:2021-4-30
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大,抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好,低真空下可以對(duì)不導(dǎo)電樣品無(wú)荷電成像,可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析,在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。
 
工作原理:
 
通過(guò)對(duì)電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),在陽(yáng)極作用下,處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過(guò)掃描線圈磁場(chǎng)的控制,電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描,激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號(hào),經(jīng)探測(cè)器收集、放大器放大后,調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測(cè)。
 
鎢燈絲掃描電鏡使用的一些注意事項(xiàng):
 
(1)新燈絲的表面可能吸附一定量的空氣、水汽,當(dāng)它被安裝到電鏡鏡筒里時(shí),會(huì)從燈絲表面緩緩釋放,影響鏡筒的真空度,腐蝕燈絲。因此,新燈絲在更換前要先經(jīng)過(guò)“去潮、去氣”處理,可在 45℃電熱箱內(nèi)放置數(shù)小時(shí),然后放入透射電鏡底片抽氣室預(yù)抽氣數(shù)小時(shí)以除去新燈絲上吸附的殘余空氣和水汽。
(2)干燥好的樣品若暫時(shí)不用,可放在干燥器或真空中保存,樣品粘臺(tái)后最好放入透射電鏡底片抽氣室預(yù)抽氣數(shù)小時(shí)再放入電鏡觀察。
(3)飽和點(diǎn)調(diào)低一點(diǎn),滿足要求即可。掃描電鏡鎢燈絲有兩個(gè)飽和點(diǎn):第 2 飽和點(diǎn)用于高分辨率觀察照相,如果對(duì)圖像要求不高或做EDS,可以在第一飽和點(diǎn)工作,這樣可以延長(zhǎng)燈絲的壽命。
(4)高真空抽到后等幾分鐘,讓真空度更高。換樣品放氣前等幾分鐘,讓燈絲冷卻下來(lái)再放氣,避免過(guò)熱燈絲與大氣接觸氧化燈絲。
(5)加速電壓不宜用得過(guò)高,滿足要求即可,能用低電壓就不用高電壓。放大倍數(shù)不超過(guò)一萬(wàn)倍時(shí)一般 15-20 Kv 就可以了。同時(shí),應(yīng)保持工作電壓與工作距離的相對(duì)穩(wěn)定,如無(wú)特殊需要, 不要經(jīng)常更換電壓與工作距離。因?yàn)轭l繁更改電鏡工作參數(shù)不利于電鏡穩(wěn)定工作。
(6)平時(shí)盡量少頻繁開(kāi)關(guān)燈絲,次數(shù)過(guò)多對(duì)燈絲不利通過(guò)以上措施,經(jīng)過(guò)5年來(lái)的實(shí)踐,成功將掃描電鏡鎢燈絲壽命由原來(lái)的 70-120 小時(shí)最多延長(zhǎng)至 1241 小時(shí)。不僅大大減少了維護(hù)費(fèi)用,同時(shí)很好的保證了電子顯微鏡的高效、穩(wěn)定運(yùn)行。

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