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激光共聚焦顯微鏡在膜厚三維形貌測(cè)量中是如何提高工作效率的？
需要在高度方向上做掃描，得到一系列的切片圖，然后進(jìn)行圖像疊加并得到三維圖像，從而提高景深范圍。相對(duì)于傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡，激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上，可達(dá)120nm。激光共聚焦顯微鏡樣品適用性強(qiáng)，非接觸測(cè)試，無(wú)需樣品制備和導(dǎo)電性處理，對(duì)樣品無(wú)損傷（粉末、軟性樣品以及透明樣品均可測(cè)試）。激光共聚焦顯微鏡豐富的測(cè)量結(jié)果，高分辨二維及三維成像、多種二維及三維顯示結(jié)果對(duì)比、大面積圖像拼接、非接粗糙度測(cè)量、膜厚測(cè)量、熒光分析等。簡(jiǎn)便的操作及維護(hù)，激光共聚焦顯微鏡無(wú)昂貴的耗材、模塊化設(shè)計(jì)、人性化的操作軟件、自動(dòng)校正程序等。
激光共聚焦顯微鏡在提高有效信號(hào)的基礎(chǔ)上，大大降低噪音信號(hào)，使得高質(zhì)量的熒光圖像成為可能。利用“對(duì)焦（焦點(diǎn)）時(shí)反射光量大”這一共焦原理的顯微鏡測(cè)量精度，會(huì)受到正確讀取反射光量峰值的能力的較 大影響。構(gòu)成共焦光學(xué)系統(tǒng)的方式有很多。有些形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)所采用的“針孔共聚焦方式”。針孔共聚焦方式是在光接收元件的前面設(shè)計(jì)了針孔。針孔的直徑僅為數(shù)十μm，其功能是在不對(duì)焦時(shí)切斷反射光。，通常的光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)的反射光均會(huì)進(jìn)入光接收元件。觀察“未對(duì)焦時(shí)”，通常光學(xué)系統(tǒng)的反射光（焦點(diǎn)模糊光線）會(huì)進(jìn)入光接收元件，但激光共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)的反射光（焦點(diǎn)模糊光線）則會(huì)被針孔切斷。即只有在對(duì)焦時(shí)反射光才會(huì)進(jìn)入光接收元件，以此為依據(jù)構(gòu)成共焦光學(xué)系統(tǒng)。
無(wú)論是材料表面形貌組織結(jié)構(gòu)分析，還是表面輪廓度，激光共聚焦顯微鏡都可以呈現(xiàn)細(xì)節(jié)清晰、高襯度的圖像。增強(qiáng)靈敏度，減少背景噪音是激光共聚焦顯微鏡在應(yīng)用的先決條件。激光共聚焦顯微鏡的靈敏度、杰出的降噪音技術(shù)和激發(fā)激光技術(shù)，也能保證輸出較好的結(jié)果。
激光共聚焦顯微鏡更少的機(jī)械運(yùn)動(dòng)，尤其是在光譜成像時(shí)，以及更穩(wěn)定的設(shè)計(jì)，保證提供更快的、不間斷的令人信服的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。整合多個(gè)個(gè)檢測(cè)器在共聚焦中，可以可靠而無(wú)偏離的重現(xiàn)用戶的測(cè)量。平行光譜檢測(cè)可以在波長(zhǎng)模式下同時(shí)讀出通道更多的的信號(hào)。另外，其特殊的采集模式可以將光譜分辨率大大提高。