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電阻率的測(cè)量是半導(dǎo)體材料常規(guī)參數(shù)測(cè)量項(xiàng)目之一
閱讀：726 發(fā)布時(shí)間：2021-6-27
電阻率的測(cè)量是半導(dǎo)體材料常規(guī)參數(shù)測(cè)量項(xiàng)目之一。測(cè)量電阻率的方法很多，如三探針?lè)?、電?--電壓法、擴(kuò)展電阻法等。四探針?lè)▌t是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法，在半導(dǎo)體工藝中最為常用。其主要優(yōu)點(diǎn)在于設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，精確度高，對(duì)樣品的幾何尺寸無(wú)嚴(yán)格要求。
四探針?lè)ǔ擞脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料的電阻率以外，在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針?lè)▉?lái)測(cè)量擴(kuò)散層薄層電阻，以判斷擴(kuò)散層質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)要求。
四探針?lè)ǔ擞脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料的電阻率以外，在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針?lè)▉?lái)測(cè)量擴(kuò)散層薄層電阻，以判斷擴(kuò)散層質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)要求。
RM-220在線電阻率儀，電阻率和溫度同時(shí)顯示，并具有電阻率低限報(bào)警功能的在線面板式儀表，廣泛應(yīng)用于制藥、電子、化工等行業(yè)對(duì)工業(yè)流程水質(zhì)的在線監(jiān)測(cè)。它采用了單片機(jī)技術(shù)，對(duì)純水的溫度系數(shù)、電極常數(shù)及電阻率低限報(bào)警點(diǎn)通過(guò)面板上的按鍵自由設(shè)置，是各種中小型純水設(shè)備的理想配套儀表。
特點(diǎn)：
1、以25℃為基準(zhǔn)，溫度自動(dòng)補(bǔ)償，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
2、4-20mA 隔離信號(hào)輸出，數(shù)據(jù)可連接。
3、RVP+同軸雙重屏蔽，抗干擾性強(qiáng)。。
4、31/2LCD顯示，數(shù)據(jù)清晰，直觀。
5、電極常數(shù)及電導(dǎo)率低線報(bào)警點(diǎn)通過(guò)面板上的按鍵自由設(shè)置