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| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,化工,电子/电池,综合 |
|---|---|---|---|
| 组件类别 | 光学元件 |
反射镜，输出耦合器和镜头
图1：随机偏光（a）的反射镜（AOI = 45°）在193 nm下的测量的反射率和透射光谱（a）和在两面都涂有193 nm氟化物AR涂层的CaF2窗口（b）
Ø所有氟化物系统均确保高反射率和高损伤阈值
ØPR涂层的公差为：
ر 2% for R = 10 ... 30 %
ر 3% for R = 30 ... 75 %
ر 2% for R = 75 ... 90 % and
ر 1% for R > 90 %
ØCaF2（肖特公司193nm受激准分子级）和熔融石英的高质量镜面基板，窗口片和透镜
Ø根据客户要求开发和生产特定组件，例如分束器和可变衰减器
Ø单波长增透膜，剩余反射率在AOI = 0°时R <0.25％，在AOI = 45°时R <0.6％（非偏振光）
Ø宽带和多波长增透膜
可变衰减器
图2：在不同的AOI（a）和透射率与AOI（b）下测得的可变衰减器的透射率光谱; 透射率从AOI = 0°时的T> 88％到AOI = 45°时的T <2％
Ø可根据要求提供不同传输范围的衰减器
Ø衰减器可以与CaF2熔融石英的AR涂层补偿板一起提供
铝反射镜
图3：优化了针对193nm的受?；l镜（a）和针对193nm的增强Al镜（AOI = 45°（b））的测量反射光谱
增强铝镜：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%
有关铝镜的更多信息，请参见目录中的96-97页。
标准ArF激光元件的技术参数
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
Fluoride coatings | |||
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 | |
PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | |
Oxide coatings | |||
HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大学进行了测量
2）能量密度：18mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试
3）能量密度：55mJ / cm 2，重复率：1kHZ，脉冲持续时间15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
4）能量密度：27mJ / cm 2，重复频率：4kHz，脉冲持续时间：30ns; 在哥德根的COHERENT AG进行测试
5）能量密度：80mJ / cm 2，重复频率：1kHz，脉冲持续时间：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
反射镜，输出耦合器和镜头
图1：157nm的激光镜（AOI = 0°，a）和转向镜（AOI = 45°，b）的测量反射率和透射光谱
Ø激光镜：AO = 0°时R = 92 ... 95％
Ø转向镜（AOI = 45°）：
ØRs
> 97%
ØRp
> 90%
ØRr
> 92%
ØCaF2的高品质镜面基板，窗口片和镜片（肖特公司157nm受激准分子级品质）
Ø具有公差的PR涂层
ر 2 % for R = 10 ... 30 %
ر 3 % for R = 30 ... 75 % and
ر 2 % for R = 75 ... 90 %
Ø根据客户要求开发和生产特定组件，例如分束器和可变衰减器
图2：标准输出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％时测得的反射光谱（背面未镀膜）
可变衰减器
图3：可变衰减器在不同AOI（a）和透射率与AOI（b）下测得的透射光谱透射率从AOI = 0°时的T> 75％到AOI = 45°时的T <5％
F2激光铝镜
图4：受?；さ腁l镜（a）和增强型Al镜在157nm下的反射光谱（b）
受?；さ穆辆担ㄕ攵?57nm进行了优化）：R = 74 ... 78％
电介质增强型铝镜：AOI = 0°时R = 94％
有关铝镜的更多信息，请参阅我们的目录中的第96 - 97页。
标准F2激光组件的技术数据
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) | |
PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
*能量密度：25mJ / cm2，重复频率：800Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试
**能量密度：15mJ / cm 2，速率：200Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试
***能量密度：20 mJ / cm2，速率：50Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试
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