12
日本新宇宙PS-7复合气体检测仪可通过PDA读取数据
日本新宇宙PS-7复合气体检测仪特点
● 通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器
● 传感器经过校准和交付，无需现场气体校准。此外，无需工具即可轻松更换传感器
● 小巧·轻便的设计
● 通过LCD显示屏轻松了解气体浓度，报警状态和错误信息
● 采样流量的自动控制功能
● 当插入与设置不同的传感器时，传感器具有防止错误插入的功能
● 通过连接PDA，可以获取存储在检测单元中的数据
● 转换器单元（选件）可用于检测NF3和CCl2。
● 符合CE标准
● 符合SEMI标准
02.连接方式
日本新宇宙PS-7复合气体检测仪参数
※1. 推荐使用特氟龙。但是如果是吸附性较强的气体时，根据使用情况的不同也将有所差异，因此，请向本公司进行咨询。产品有可能改进而对上述规格进行修改，对此恕不预先通知用户。
※2. 仅限于附带转换器件的产品。
04.对应气体一览表
