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采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是法實現(xiàn)的。
采用了四探針雙位組合測量新,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針電壓探針的變換,在計算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和 機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,然后以表格圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果;
參數(shù):
適用晶片尺寸:2"~12"(配套探針臺);
測量范圍 - 電阻率:10-5~105 Ω·cm(可擴(kuò)展)
方塊電阻:10-4~106Ω/□(可擴(kuò)展)
電導(dǎo)率:10-5~105s/cm;
電阻:10-5~105Ω;
可測晶片厚度:≤3.00mm
恒流源:電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,檔電流連續(xù)可調(diào);
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