復(fù)合真空計校準儀系真空計電參數(shù)檢定計量用設(shè)備，適用于種型號的復(fù)合真空計，電離真空計，熱偶真空計的電參數(shù)檢定計量，并經(jīng)簡單的轉(zhuǎn)接插頭可檢定其它型號的真空計。
參數(shù)
1、加速對陰電位校準精度：±1%2、
陰中心點對地電位校準精度：±1%
3、發(fā)射電流校準精度：±0.5%
4、放大器校準精度：10-2～10-5Pa ±1%
5、熱偶加熱電流校準精度：±0.5%
6、熱偶計毫付值校準精度：±0.5%

復(fù)合真空計校準儀系真空計電參數(shù)檢定計量用設(shè)備，適用于種型號的復(fù)合真空計，電離真空計，熱偶真空計的電參數(shù)檢定計量，并經(jīng)簡單的轉(zhuǎn)接插頭可檢定其它型號的真空計。