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勻膠機、旋涂儀清理

閱讀:3102        發(fā)布時間:2016-11-12

勻膠旋涂產(chǎn)品,在長時間使用過程中需要對儀器進行適當清理

勻膠機屬下列狀況之一時,需要對抽氣室進行清潔:

1. 正常使用三個月的; 

2. 膠被吸入抽氣室的; 

3. 電機轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。 

清潔的辦法是順次取下勻膠機片托,松開光電盤上的緊固頂絲,取下光電盤、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗潔凈,再順次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤。旋緊緊固頂絲。 

 

北京泰諾鑫源科技有限公司專注于為微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域的高等院校、科研院所以及各類生產(chǎn)企業(yè)提供*的半導(dǎo)體制造及封裝實驗設(shè)備和器材。在勻膠機清洗的問題供大家討論。

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