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三维轮廓仪是一种用于表面结构测量和表面形貌分析的测量和计量设备。它不仅可以用于科学研究,还可以用于工业产品的检测,该仪器可被视为表面研究的万用表。它利用接触和非接触功能的设计特点,弥补了两种模式的局限性,发挥了表面形貌仪的测量极限。光学非接触式具有速度快、直接三维成像、对样品无损伤等特点。探针接触模式方便快捷,样品制备简单,测量材料广泛。两种模式结合使用,可用于研究更多形状、性质和材料的样品的表面形态。
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