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昆山熙日机械设备有限公司

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昆山苏州无锡上海欧瑞康莱宝MAG digital 系列磁悬浮 分子泵

订       金: 250000

订  货  量: ≥1 

具体成交价以合同协议为准

产品型号Mag digital

品牌

厂商性质其他

所在地苏州市

更新时间:2015-06-14 14:08:02浏览次数:1223次

联系我时,请告知来自 化工仪器网
品牌:莱宝型号:欧瑞康莱宝的Mag digital系列磁悬浮分子泵的
材质:不锈钢驱动方式:电动
用途:管道泵原理:真空泵
极限压力:1*10-5规格: Mag digital

欧瑞康莱宝的Mag digital系列磁悬浮分子泵的

主要技术特点:

抽速: 830l/s ~ 3200l/s
五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好全无油,耐粉尘、抗气流冲击。
转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形,应力小,强度高,耐冲击,高温变形量小,转子叶片不易卷曲、打碎;转子长期运行温度可高达120℃。
转子及定片均采用莱宝技术的KAPLAR涂层
较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能,适用于抽除腐蚀性强的工艺气体;
降低气流与转子叶片摩擦产生的热量,降低转子运行温度,有利于延长转子寿命;
叶片镀KAPLAR的转子较镀镍的转子重量更轻。
保护轴承为陶瓷轴承寿命长,无需更换?;ぶ岢小?br>高真空端连接采用ISO-F,连接螺栓强度高,充分保障安全。
智能化电源,无需UPS。
带拖动级,前级耐压在2mbar以上。
分子泵运行温度可调节,使其充分适应不同工艺制程。
的数字控制技术
运行速度、温度可设置;
运行数据记录存储,提供多达180条运行信息;
磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短
转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间短;
在气流长时间(2分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量过大时,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。
控制器与泵无识别性,可互换。
免维护。


典型应用:
 
所有半导体主要制程:刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
科研领域
镀膜

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