干式真空泵的界说
干式真空泵很早就涌现了,但没有明确的界说。就接替油封式电泵来说,正常通用的言论是:能在大气压到10-2Pa的压力规模内作业;在泵的抽气旋道(如泵腔)中,使不得运用任何废油和液体、排气口与大气相通,能陆续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。
当初商场上提供的干式泵品种很多，就其根本原理来分,只有两类,即:
①体积式的无油真空泵,比如多级罗茨泵、爪型泵、往返式鞲鞴泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力正常为0.1～10Pa,抽速为0.01～0.04m3ös。
②动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,在陆续流状态下压缩比拟高。它是一种粗抽泵,可从大气压抽到1022Pa。在构造上采纳径向流和周向流泵的复合式构造,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,抽速为0.02～0.15m3ös。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。
该署干式泵和油封式电泵相比,达成同样的极限压力,其残余气体成一则全然相反,经综合后果明,油封泵的残余气体,CnHm气体(碳氢复合物气体)为其重要成份,而干式泵的残余气体为大气的组成成份。这就证实了干式泵的抽气不复有油的净化了。
有些干式泵在构造设计上,如泵的传动齿轮和轴承等仍在运用光滑油,也有用分解油,如PFPE油和其油脂等,并采取定然的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,宽大来说不是全无油的泵,但经综合,这种分解油的成份在泵出口处是微不足道的,并无莫须有。
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