电感耦合等离子体（ICP）是由高频电流经感应线圈产生高频电磁场，使工作气体形成等离子体，并呈现火焰状放电（等离子体焰炬），达到10000K的高温，是一个具有良好的蒸发－原子化－激发－电离性能的光谱光源。

ICP定量分析方法主要有外标法、标准加入法和内标法：

1、外标法。利用标准试样测的常数后，又用该式来确定试样的浓度。

2、标准加入法，又称添加法或增量法，用以减小或消除基体效应的影响。

3、内标法。在试样和标准试样中分别加入固定量的内标物，利用分析元素和内标元素谱线强度比与待测元素浓度绘制标准曲线，并进行样品分析。

ICP定量分析的依据是Lomakin-Scherbe  公式：I=aCb

其中I：谱线强度   C：待测元素的浓度   a：常数   b: 分析线的自吸收系数（b与光源特性、待测元素含量、元素性质及谱线性质等因素有关）

一般情况下b≤1，在ICP光源中，多数情况下b≈1。