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一：产品简述

（1.1）等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

（A）   对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（B）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

（1.2）真空等离子清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。

与传统的一些清洗方法，如超声波清洗、UV清洗等，具有以下优点：

（A）处理温度低

处理温度可以低至80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

（B）处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。

（C）处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

（D）可以处理各种形状的样品

对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。

真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

等离子体清洗机  实验室用小型表面清洗设备

（2.2）产品原理

等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。