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如何對薄膜沉積控制儀做標(biāo)準(zhǔn)化的日常維護
如何對薄膜沉積控制儀做標(biāo)準(zhǔn)化的日常維護？
薄膜沉積控制儀安裝時注意保持水平位置，對薄膜沉積控制儀與地基的結(jié)合面和出風(fēng)管的聯(lián)接等，應(yīng)調(diào)整使之自然吻合不得有強行聯(lián)接，不允許將管道重量加在薄膜沉積控制儀的部件上。
薄膜沉積控制儀時應(yīng)對各部件進行全面檢查，機件是否完整，各部件聯(lián)接是否緊固。薄膜沉積控制儀在運轉(zhuǎn)時如發(fā)現(xiàn)有劇烈的振動撞擊等反常現(xiàn)象必須立即停車檢查。薄膜沉積控制儀在露天使用應(yīng)有防雨措施。按期清除薄膜沉積控制儀內(nèi)部積灰、污垢等雜質(zhì)，并防止銹蝕。
以上內(nèi)容就是薄膜沉積控制儀在日常維護中標(biāo)準(zhǔn)化的流程，希望大家可以了解更多。