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布鲁克Bruker平面内电流隧道系统SmartProber-P1

——用于企业研发和故障分析中 300mm 晶圆应用的电动系统

·高垂直面

磁场

·可配置

设计和选项

·全晶圆覆盖

高达 300 毫米

·0.1-100 kΩμm2

RA 范围

这种类型的 SmartProber 有多种配置可供选择。如果需要高垂直场，但只需要测量小样品，则可以用更便宜的手动载物台代替自动晶圆载物台。

SP-P1 – 6kOe 磁体，300mm 旋转晶圆台
配置选项：
C：附加场强为 2kOe 的面内磁体模块
Y：200mm XY 晶圆台
M：用于小样品的手动晶圆台
L：10kOe 磁体

布鲁克Bruker平面内电流隧道系统SmartProber-P1