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Diener 等离子表面处理仪 FEMTO
· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式，实现控制高机能
· 经济型等离子清洗机，小型腔体
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
· 操作简单易使用
型号 | FEMTO | FEMTO PCCE | |||
控制系统 | 手动控制 | PCCE 控制系统 | |||
工艺气路 | 双路或三路气体 | ||||
工艺气体 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体 | ||||
单体导入 | H2O，亲疏水涂层等单体（选配） | ||||
流量计 | 针阀流量计（防腐蚀） | MFC流量计（防腐蚀） | |||
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃/石英 盖子门/铰链门带观察窗 | 不锈钢 盖子门/铰链门带观察窗 | 铝合金 铰链门带观察窗 | |
圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm | 95×280( 600) | 100×278( 600) | — | ||
方形腔体 内尺寸 （W×D×H）mm | — | 103×285( 600)×103 mm | 110×300( 600) ×120 | ||
容积 | 2 L~4.2L | 2.2L~6.4L | 4L~8L | ||
电极 | 360度外置环绕电极 | 平行平板电极 | |||
发生器* | 40KHz 0~100 W 100KHz 0-500W 13.56MHz 0~50 W 或者0~300 W 2.45GHz 0-300W | ||||
真空压力计 | 指针式压力计 | 皮拉尼数字式压力计 | |||
计时器 | 模拟数字式 | 数字式 | |||
托盘 | 高硼硅玻璃/石英，不锈钢 | ||||
外形尺寸（WXDxH）mm | 310-560x420-600x330-860mm | ||||
电源 | AC220V 50Hz 10A | ||||
真空泵 | 排气速度不小于4m3/H | ||||
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