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Diener 等离子表面处理仪 ATTO
  • Diener 等离子表面处理仪 ATTO

货物所在地:上海上海市

更新时间:2024-08-26 09:07:03

浏览次数:203

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Diener 等离子表面处理仪 ATTO特点
· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式,实现控制高机能

· 10.5L腔体可处理多种样品

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 8" Wafer去胶清洗

Diener 等离子表面处理仪 ATTO

特点

· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式,实现控制高机能

· 10.5L腔体可处理多种样品

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 8" Wafer去胶清洗

Diener 等离子表面处理仪 ATTO技术规格:

型号

ATTO

ATTO PCCE

控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路气体

工艺气体

O2,Ar,N2,CO2,H2,Air

单体导入

H2O等单体(选配)

流量计

针阀流量计

MFC流量计

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃腔体,盖子门带观察窗(石英,铰链门选配)

内尺寸(Dia.×D)

211×300mm

容积

10.5L

电极

360度外置环绕电极

发生器*


40KHz     0~200 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空压力计

指针式压力计(选购)

皮拉尼数字式压力计

计时器

旋钮式(选购)

数字式

托盘

高硼硅玻璃(石英选配)W200xD260xH5mm

外形尺寸(WXDxHmm

525x450xD450

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度8m3/H

上海尔迪仪器科技有限公司是一家代理经销国内外仪器的专业公司。秉承“销售*仪器、提供优质服务"的宗旨,在制药、化工、环保、科研、大学、医学等领域开拓了广泛的市场,并赢得了广大用户的支持和信赖。尔迪在今后的发展中,将贯彻诚信、服务、务实、创新的经营理念,一如既往地把国内外优秀的仪器设备介绍并提供给国内的用户。孜孜追求,不懈努力,不断提高服务水平,为提升用户的检测水平和科研水平贡献各自的绵薄之力,与广大用户共同享受科技成果,在互利协作中共同进步。


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