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· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式，实现控制高机能
· 中型尺寸腔体可处理多种样品
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
型号 | NANO | NANO PCCE | |||
控制系统 | 手动控制 | PCCE 控制系统 | |||
工艺气路 | 双路或三路气体 | ||||
工艺气体 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体 | ||||
单体导入 | H2O，亲疏水涂层等单体（选配） | ||||
流量计 | 针阀流量计（防腐蚀） | MFC流量计（防腐蚀） | |||
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃/石英 盖子门/铰链门带观察窗 | 不锈钢 盖子门/铰链门带观察窗 | 铝合金腔体 铰链门 | |
圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm | 240×400(600) *1 | 267×420（600）*1mm | — | ||
方形腔体内尺寸 （W×D×H）mm | — | 240×420（600）*1×240mm | 240×420（600）*1×240 | ||
容积 | 18L~27L | 24L~34L | 24L~34L | ||
电极 | 360度外置环绕电极 | 平行平板电极 | |||
发生器* | 100 kHz 0-500W 80 kHz 0-1000W 13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W 2.45 GHz 0-600W | ||||
真空压力计 | 指针式压力计 | 皮拉尼数字式压力计 | |||
计时器 | 模拟数字式 | 数字式 | |||
托盘 | 高硼硅玻璃（石英选配），不锈钢 | ||||
外形尺寸（WXDxH）mm | 560x600-750x600-860mm | ||||
电源 | AC220V 50Hz 10A | ||||
真空泵 | 排气速度不小于16m3/H | ||||
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