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技术数据：

·外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm

·腔室容积：约 35 升

·供电电源：230 V / 16 A

·气体供给：3 个质量流量控制器 (MFC)

·真空腔室： 硼硅玻璃材质的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm

·溅射源： 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板（针对反应性过程，可选配排烟管和进气口）

·基材支架： ∅ 140 mm（可选择旋转型、基材加热装置、基材冷却装置）， 可切换为等离子预处理的电极（清洗、活化、蚀刻）

·控制系统：PC-控制系统 (Microsoft Windows XPe)

·压力测量装置： Pirani

·真空泵： 不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）

其他选项：

·备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。

其它选项功能

·发生器频率：    40 kHz：功率 0 - 500 W

·3.56 MHz：功率 0 - 300 W

·直流偏置电源或单极性脉冲

·功率最大为 300 W 电压最大为 600 V DC

·发生器为 0 - 100% 无级可调型